中芯世界称7nmEUV光刻机问题已处理研制步入正轨

在半导体工艺进入10nm节点之后，制作越来越困难，其中最杂乱的一步——光刻需求用到EUV光刻机了，而后者现在只要荷兰ASML阿斯麦公司才干供给。中芯世界上一年也订货了一台EUV光刻机，日前该公司表明与ASML之间已处理光刻机的问题，EUV技能研制步入正轨。

前不久有音讯称ASML中止对中芯世界供给EUV光刻机，随后ASML公司表明不是停供，而是延期，主要是在预备该国政府的出口请求文本作业。

中芯世界董事长周子学日前在韩国拜访，韩媒报导称周子学表态现已处理了与ASML之间就光刻机供给存在的问题，着重中芯世界在先进工艺上的研制、出产一向处于安稳的轨道上，与客户及设备供给商之间没有一点问题。

ASML公司是EUV光刻机现在仅有的供给商，本年四季度，ASML估计交给8台EUV光刻机，均匀每台价格达到了1.2亿欧元，折合人民币9.3亿元，可谓人类最贵重的设备了。

编 辑：章芳